Como todos sabemos, existe apenas um fabricante no mundo que pode produzir litografia EUV, é oASML da Holanda.
A razão pela qual existe apenas um fabricante no mundo é que a ASML uniu muitos fabricantes importantes, como Zeiss (Zeiss), uma empresa óptica alemã, Cymer (EUA) eTRUMPF (Alemanha).
A ASML amarrou esses fabricantes à sua carruagem por meio de investimento, aquisição, participação acionária, estabelecimento de centros de pesquisa e assim por diante, e esses fabricantes são provavelmente os únicos fabricantes no mundo que podem produzir esses produtos; portanto, apenas a ASML no mundo pode produzir litografia EUV.
No entanto, recentemente, uma importante cadeia de suprimentos da ASML, correu para Shenzhen, China para construir uma fábrica, sua subsidiária Shenzhen estabeleceu-se no Parque de Demonstração Industrial Baoan Sino-Alemão (Europa).
Este fabricante é o Grupo TRUMPF da Alemanha (TRUMPF), é a litografia EUV da ASML, o único fornecedor de fonte de laser do mundo.
Produtos TRUMPF na litografia EUV, qual a importância? Primeiro, ouça-me explicar o princípio da litografia EUV, você entenderá.
O princípio da litografia EUV, para simplificar, está centrado em três sistemas principais, o sistema de fonte de luz ultravioleta EUV, o sistema de espelho objetivo e o sistema de mesa.
O processo específico é usar um laser para excitar um comprimento de onda de 13,5 nm de luz ultravioleta extrema, que é então corrigido para formar um feixe de luz controlado, que é então projetado em uma mesa de fotomáscara antes de ser projetado através de um espelho objetivo em uma mesa de exposição e finalmente gravado em um circuito em um wafer de silício revestido com fotorresistente.
Como um dos sistemas de fonte de luz UV EUV é obtido bombardeando uma gota metálica de estanho (Sn) com um laser de CO2 de 30 kW de potência, evaporando-o em um plasma e, finalmente, obtendo luz EUV com comprimento de onda de 13,5 nm.
Este laser de CO2 de 30 kW é fornecido pela TRUMPF, a única no mundo.
Não subestime este laser de CO2, ele tem 457.329 peças, o comprimento do cabo no sistema é de até 7.322 metros e o peso é de 17.090 kg, que é um dos componentes principais mais importantes da litografia EUV.
Agora a TRUMPF correu para a China para construir uma fábrica, a intenção é clara, ou seja, otimista sobre o mercado chinês de laser e ainda mais visão de longo prazo, otimista sobre o mercado chinês de litografia, o futuro pode cooperar com a China para construir litografia EUV .
Na verdade, já existe mais de uma cadeia de suprimentos ASML indo para a China para construir uma fábrica, existem KMWE e outros fabricantes, também para a China para construir uma fábrica.
De acordo com a tendência atual, podemos esperar com otimismo que não demore muito para que a tecnologia de litografia da China seja um grande passo à frente, e até mesmo o volume de litografia EUV de saída também pode esperar, você acha?
