Jun 16, 2026 Deixe um recado

Inteligente Zhongshan|Xie Gehui do Huari Laser: Resolvendo desafios críticos em metrologia de semicondutores com tecnologia doméstica de laser ultrarrápido

Em 2 de dezembro de 2025, o "Wisdom-Gathering Zhongshan: Sci{3}}Tech Innovation Lecture"-um seminário sobre desenvolvimento da indústria de laser e tecnologias de aplicação, combinado com um evento de matchmaking para tecnologias da indústria optoeletrônica na Torch High-zona de tecnologia-foi realizado em Zhongshan, Guangdong. A Huari Laser foi convidada a participar e se juntou a especialistas e acadêmicos da Universidade de Ciência e Tecnologia de Huazhong e da Universidade de Ciência e Tecnologia de Changchun, ao lado de vários líderes da indústria, para explorar o futuro da indústria de laser. Xie Gehui, da Huari Laser, fez um discurso intitulado "Aplicações de lasers ultrarrápidos domésticos em metrologia de semicondutores", apresentando os mais recentes avanços da empresa no campo e as perspectivas para aplicação doméstica.

 

A competição na indústria de semicondutores é uma competição de fabricação de precisão e controle de rendimento; em uma era de processos de fabricação de chips cada vez menores, como visualizar claramente estruturas internas em escala nanométrica? A Huari Laser forneceu uma solução robusta desenvolvida internamente. A metrologia de semicondutores serve como os “olhos” da fabricação de chips. O Dr. Xie Gehui ressalta que à medida que os processos de fabricação de wafers se tornam cada vez mais complexos, os métodos tradicionais de inspeção lutam para atender às demandas; aproveitando suas propriedades ópticas extremas, os lasers de pulso ultracurto-emergiram como uma ferramenta revolucionária tanto para a pesquisa científica quanto para o setor industrial.

 

Em sua apresentação, o Dr. Xie Gehui destacou duas aplicações tecnológicas principais do Huari Laser:

1. **Tecnologia ultrassônica de femtosegundo (chip interno "Ultrasound"):** Visando amostras opacas e estruturas de filme-fino multicamadas, o Huari Laser emprega uma técnica de "bomba-de sonda" de femtosegundo. Ao aproveitar a resolução ultrarrápida do tempo de femtossegundos, o sistema pode detectar com precisão mudanças estruturais mínimas em escala nanométrica. Aplicado com sucesso à medição de espessura de filme-fino e à inspeção de interconexões internas de chips, isso representa uma tecnologia de teste não-de contato e não{7}}destrutiva (NDT).

2. **Tecnologia de espectroscopia-comb duplo ("impressão digital espectral" de alta-precisão):** o Dr. Xie introduziu inovações em imagens micro{4}}nano usando tecnologia de-comb duplo. Essa técnica permite medições ópticas de alta-precisão, alta{8}}velocidade e alta-resolução sem a necessidade de digitalização mecânica, fornecendo suporte técnico robusto para imagens 3D de micro{11}}nanoestruturas semicondutoras.

**Principal inovação:** O laser verde de femtosegundo de 532 nm da série Glow-é um produto que rivaliza com as-ofertas internacionais de alto nível.

O Dr. Xie enfatizou que a medição de alta-precisão depende de lasers com desempenho de ruído superior. Na metrologia de semicondutores, o ruído de intensidade relativa (RIN) e o ruído de fase (jitter de temporização) são fatores críticos que determinam o nível de ruído de medição. O laser de femtosegundo Glow green incorpora as seguintes otimizações para aplicações de metrologia:

1. **Baixo ruído:** Apresenta um novo design de cavidade e esquemas passivos de supressão de ruído; controla com precisão a dispersão intracavitária e os efeitos não lineares para minimizar o ruído.

2. **Alta estabilidade:** Suporta operação contínua 24 horas por dia, 7 dias por semana; inclui isolamento óptico-integrado e alta-estabilidade em toda-amplificação de fibra; manutenção-gratuita.

3. **Fácil integração:** O gerenciamento térmico-refrigerado a ar e um design industrial integrado facilitam a integração do sistema.

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O desempenho e a estabilidade excepcionais de baixo-ruído ultrapassaram os limites da precisão de medição, sensibilidade, eficiência e confiabilidade operacional. Esses avanços permitem que os lasers produzidos internamente concorram-com os concorrentes internacionais, atendendo às demandas rigorosas de aplicações-de ponta, como inspeção de semicondutores e metrologia.

Aproveitando sua experiência no fornecimento em volume de mais de 50.000 lasers e uma estrutura de cadeia -industrial abrangente, a Huaray Laser está utilizando os recursos robustos do "Made in China" para quebrar monopólios estrangeiros e energizar todas as etapas do processo-desde o design do chip até a fabricação do wafer. Seguindo em frente, a Huaray Laser continua comprometida em colaborar com parceiros da indústria e enfrentar os desafios dos clientes; ao fornecer fontes de laser domésticas cada vez mais precisas e estáveis, a empresa pretende iluminar o caminho em direção à auto-suficiência e autonomia para a indústria de semicondutores da China.

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